ls486cml520mmid329991-50sn21227光電掃描

海德漢的大多數(shù)光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描在工作中無接觸，因此無磨損。光電掃描可以檢測(cè)到非常細(xì)小的光
柵，柵線寬度可僅數(shù)微米，并能輸出非常細(xì)小的信號(hào)周期信號(hào)。
測(cè)量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。海德漢直線光柵尺采用兩種掃描原理：
• 成像掃描原理用于20 µm至大約40 µm的柵距
• 干涉掃描原理用于更小柵距的光柵，
例如，8 µm。

成像掃描原理
簡(jiǎn)單地說成像掃描原理是用透射光生成信號(hào)：兩個(gè)柵距相同或相近的光柵與掃描掩
膜彼此相對(duì)運(yùn)動(dòng)。掃描掩膜的基體為透明色，而作為測(cè)量基準(zhǔn)的光柵材料可為透明
材料也可以為反光材料。
當(dāng)平行光穿過光柵時(shí)，以特定的間隔形成明暗的光影區(qū)。掃描光柵位于此處。當(dāng)兩
個(gè)光柵相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，入射光進(jìn)行調(diào)制：在狹縫對(duì)齊時(shí)，光線通過。如果一個(gè)光柵的
刻線與另一個(gè)光柵的狹縫對(duì)齊，光線無法通過。光電池組將這些光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)化成電
信號(hào)。特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強(qiáng)調(diào)制為近正弦輸出信號(hào)。
光柵條紋的柵距越小，掃描掩膜與光柵尺間的間距越小和公差越嚴(yán)。
LC、LS和LB系列直線光柵尺為成像掃描原理。